Semiconductor 半导体行业

英泰克热式质量流量仪表在半导体等超洁净（UHP）工况有丰富的应用经验

Gas Flow 气体流量测量

英泰克TU系列流量仪表采用独有的非侵入式测量管，该设计使得对测量管进行电抛光处理变得非常容易，从而可以用于超洁净工况（UHP）。作为可选项，测量管可以焊接VCR接头，或者可以将传感器直接焊接到管路上。经过工厂标定后，传感器可以在洁净室进行洁净处理。

气体经过计量后进入过程管路，或者在过程分配中进行计量。采用TU系列流量传感器已经成功地在氩气、氧气、甲烷、氢气、氯气、氦气等的计量中得到应用，流量范围可以低至SCFM级。根据需要，英泰克可以提供本安型防爆流量传感器，可以适用于包含I区在内的各种危险工况。

TU 系列优点：电抛光表面，超洁净工况，本安型防爆

Air/Nitrogen Flow 空气/氮气流量

很多公司采用TU流量计测量氮气流量，以便在工厂的不同地点都可以监测到气体的用量。这些管线通常较大，需要采用插入式流量仪表。工厂采用TU热式质量流量计，因为它可以提供直接质量流量和标准体积流量输出，并且不需要温度和压力补偿。

TU插入式系列优点：安装方便，直接质量流量输出，不需要信号调校。

Fluid to Polishing Process 抛光工艺液体流量测量

在半导体抛光工艺中，经常采用英泰克TU系列液体热式质量流量计测量低流量抛光液流量。一台经过标定，流量范围3-30ml/min的仪表，可以用于抛光液的精确计量，同时，仪表还可以在流量过低的时候输出报警信号。为了满足高洁净工况（UHP）的要求，流量仪表的测量部件可以进行电抛光处理。

TU系列优点：低流量测量精度高，电抛光测量管可选，维护少。

 

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